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| 缩小尺寸增加密度必须使用先进的光学检验技术 | |
| 作者姓名： | 王浩 |
| 摘 要： | 为了有效地检查出芯片上器件的缺陷,必须提高测试台的准确度、分析和图形的分辨率,就应该深入到亚微米量级进行特征化。多年来器件和产品的小型化已使印制电路板上的元件密度达 |
| 关 键 词： | 光学检验技术 印制电路板 测试台 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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