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溅射离子泵开关电源的设计
引用本文:张余进,邱实. 溅射离子泵开关电源的设计[J]. 真空, 2007, 44(5): 72-75
作者姓名:张余进  邱实
作者单位:中国科学院上海天文台,上海,200030
摘    要:针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理.在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源.该电源具有外特性响应好、结构简单和可靠性高等特点.

关 键 词:开关电源  溅射离子泵  负阻特性
文章编号:1002-0322(2007)05-0072-04
修稿时间:2007-07-08

Design 0f switched SIP power supply
ZHANG Yu-jin,QIU Shi. Design 0f switched SIP power supply[J]. Vacuum(China), 2007, 44(5): 72-75
Authors:ZHANG Yu-jin  QIU Shi
Abstract:
Keywords:
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