| 溅射离子泵开关电源的设计 |
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| 引用本文： | 张余进,邱实. 溅射离子泵开关电源的设计[J]. 真空, 2007, 44(5): 72-75 |
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| 作者姓名： | 张余进 邱实 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海天文台,上海,200030 |
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| 摘 要： | 针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理.在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源.该电源具有外特性响应好、结构简单和可靠性高等特点.
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| 关 键 词： | 开关电源 溅射离子泵 负阻特性 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）05-0072-04 |
| 修稿时间： | 2007-07-08 |
Design 0f switched SIP power supply |
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| ZHANG Yu-jin,QIU Shi. Design 0f switched SIP power supply[J]. Vacuum(China), 2007, 44(5): 72-75 |
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| Authors: | ZHANG Yu-jin QIU Shi |
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