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| CVD—ZnS中与锌有关的晶体缺陷及其对学学性能的影响 | |
| 引用本文： | 憨勇,刘正堂.CVD—ZnS中与锌有关的晶体缺陷及其对学学性能的影响[J].硅酸盐学报,1997,25(4):447-451. |
| 作者姓名： | 憨勇 刘正堂 |
| 作者单位： | [1]西安交通大学 [2]西北工业大学 |
| 摘 要： | 采用化学气相沉积（ＣＶＤ）法制轩了红外晶体ＺｎＳ块材料，用氩气作为载体，反应气体为硫化氢和锌锌蒸气，ＸＰＳ，ＩＲ及能谱分析表明，当沉只温度低于锌蒸发温度时，生成的ＺｎＳ中与有锌的关的晶体缺陷有Ｚｎ－Ｈ功能团及存在于花瓣状态形态中心的锌微粒夹杂，当沉积温度高于锌蒸发温度时，锌微粒夹杂消失，且随沉积温度的升高Ｚｎ－Ｈ含量减少，Ｚｎ－Ｈ对红外光在６．２μｍ波长处吸收峰减弱，使生成的ＺｎＳ具有高的红外透过 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 硫化锌 缺陷 红外线晶体 光学性 |
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