| 多层微桥试验法测量薄膜力学性能的研究 |
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| 引用本文： | 周志敏,周勇,曹莹,丁文,毛海平.多层微桥试验法测量薄膜力学性能的研究[J].现代科学仪器,2008,18(2):32-35. |
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| 作者姓名： | 周志敏 周勇 曹莹 丁文 毛海平 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院教育部薄膜与细微技术重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 本文推导了表征多层结构微桥试验挠度-载荷关系的特征参数.通过MEMS(微机电系统)技术制备了包含亚微米厚度NiFe和cu薄膜的5层和8层微桥,采用XP纳米压痕仪进行微桥试验.基于小挠度理论和固支(built-in)边界条件,通过对不同长度微桥挠度-载荷关系曲线的研究,计算了梁弯曲刚度和单位宽度残余合力,并提出了一种估算薄膜机械性能的方法.得到NiFe薄膜弹性模量、残余应力分别为201.54GPa和270.75MPa,Cu薄膜为120.15GPa和50.31MPa.
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| 关 键 词： | 微桥试验 MEMS 机械性能 多层薄膜 微桥 试验法 测量 薄膜力学性能 研究 Testing Method Microbridge Multilayer Thin Film Mechanical Properties 应力分 膜弹性模量 方法 机械性能 估算 宽度 单位 弯曲刚度 计算 关系曲线 |
| 收稿时间： | 2007/10/17 |
| 修稿时间： | 2007年10月17 |
The Evaluation of Mechanical Properties of Thin Film by Multilayer Microbridge Testing Method |
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| Zhou Zhimin,Zhou Yong,Cao Ying,Ding Wen,Mao Haiping.The Evaluation of Mechanical Properties of Thin Film by Multilayer Microbridge Testing Method[J].Modern Scientific Instruments,2008,18(2):32-35. |
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| Authors: | Zhou Zhimin Zhou Yong Cao Ying Ding Wen Mao Haiping |
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