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| 用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计 | |
| 引用本文： | 李晨晓,陈宇,张润泽,李阳,张家铭.用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计[J].长春理工大学学报,2019,42(5). |
| 作者姓名： | 李晨晓 陈宇 张润泽 李阳 张家铭 |
| 作者单位： | 长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022 |
| 基金项目： | 吉林省发改委产业创新专项资金项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 晶体生长 超长工作距离 变焦显微镜 Zemax |
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