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| 遮光罩材料光学散射特性测试系统设计 | |
| 引用本文： | 陈贺,姜肇国,徐熙平.遮光罩材料光学散射特性测试系统设计[J].长春理工大学学报,2019,42(3). |
| 作者姓名： | 陈贺 姜肇国 徐熙平 |
| 作者单位： | 长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;吉林省科技厅科技攻关计划重点项目;吉林省科技厅青年基金 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 双向反射分布函数 遮光罩 杂散光 光学散射特性 有机玻璃 |
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