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钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究
引用本文:周团团,孙嵩泉,等.钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究[J].真空科学与技术,2002,22(5):392-394.
作者姓名:周团团  孙嵩泉
作者单位:[1]合肥工业大学机械与汽车工程学院,合肥230009 [2]普乐光技术有限公司,合肥230088
摘    要:本讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备,膜系设计中,运用反射率图解法以获得满意的光学性能,与传统的热蒸发镀膜工艺相比,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技术,从而大大提高了膜层的光学特性及膜层品系,试验表明所镀膜层性能优异,在光纤通信领域具有广阔的应用前景。

关 键 词:钼酸铅晶体  红外增透膜  膜系设计  光纤通信  光学器件  真空沉积  离子辅助沉积
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