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硅衬底LED芯片主要制造工艺
摘 要:
1993年世界上第一只GaN基蓝色LED问世以来,LED制造技术的发展令人瞩目。目前国际上商品化的GaN基LED均是在蓝宝石衬底或SiC衬底上制造的。但蓝宝石由于硬度高、导电性和导热性差等原因,对后期器件加工和应用带来很多不便,SiC同样存在硬度高且成本昂贵的不足之处,而价格相对便宜的Si衬底由于有着优良的导热导电性能和成熟的器件加工工艺等优势,
关 键 词:
蓝色LED
制造工艺
硅衬底
GaN基LED
蓝宝石衬底
芯片
加工工艺
导电性能
MAIN PROCESSES OF SILICON SUBSTRATE LEO CHIPS
Abstract:
Keywords:
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