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| LPCVD氮化硅薄膜的室温可见光发射 | |
| 作者姓名： | 刘渝珍 石万全 韩一琴 刘世祥 赵玲莉 孙宝银 叶甜春 陈梦真 |
| 作者单位： | 中国科技大学研究生院!北京100039(刘渝珍,石万全,韩一琴,刘世祥),中国科学院微电子研究中心!北京100010(赵玲莉,孙宝银,叶甜春),中国科学院微电子研 (陈梦真) |
| 基金项目： | 中国科技大学校科研和教改项目;; |
| 摘 要： | 在4.66eV的激光激发下,在室温下LPCVD氮化硅薄膜可发射高强度可见光,其峰位位置分别为2.97,2.77,2.55,2.32,2.10和1.90eV的6个PL峰,建立了可见光发射的能隙态模型,讨论了发光机制 |
| 关 键 词： | 激发 LPCVD 光致发光 能隙态模型 |
| 文章编号： | 0253-4177(2000)05-0517-04 |
| 修稿时间： | 1998-12-26 |
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