| MgxZn1-xO单晶薄膜的分子束外延生长及结构表征 |
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| 引用本文： | 吴春霞,吕有明,李炳辉,赵东旭,刘益春,申德振,张吉英,范希武.MgxZn1-xO单晶薄膜的分子束外延生长及结构表征[J].功能材料与器件学报,2003,9(4):477-480. |
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| 作者姓名： | 吴春霞 吕有明 李炳辉 赵东旭 刘益春 申德振 张吉英 范希武 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划),中国科学院知识创新工程项目,中国科学院"百人计划",国家自然科学基金,2001AA31112,,,60176003,60278031,,,, |
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| 摘 要： | 用等离子辅助分子束外延(P-MBE)的方法,在蓝宝石c-平面上外延生长了MgxZn1-xO合金薄膜.在0≤x≤0.2范围内MgxZn1-xO薄膜保持着六角纤锌矿结构不变.原位反射式高能电子衍射图样和X射线双晶衍射谱的结果表明生长的样品是单晶薄膜.随着x值逐渐增大,Mg2+离子逐渐进入ZnO的晶格,X射线双晶衍射测得样品的(002)取向的半高宽度从0.249°增加到0.708°,表明结晶质量逐渐下降,(002)方向的X射线衍射峰向大角度方向移动,晶格常数c由5.205(A)减小到5.185(A).透射光谱的结果表明,合金薄膜的吸收边随着Mg离子的掺入逐渐向高能侧移动,室温光致发光谱出现很强的紫外发光(NBE)峰,没有观察到深能级(DL)发射,且随着Mg掺入量的增加,紫外发光峰有明显的蓝移,这与透射光谱的结果是相吻合的.
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| 关 键 词： | 单晶薄膜 分子束外延生长 结构表征 P-MBE X射线双晶衍射 光致发光 MgxZn1-xO合金薄膜 |
| 文章编号： | 1007-4252(2003)04-0477-04 |
| 修稿时间： | 2003年1月27日 |
Growth and characterization of MgxZn1- xO single- crystal thin films by plasma assisted molecular beam epitaxy |
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| WU Chun - xia,LU You - ming,LI Bing - hui,ZHAO Dong - xu,LIU Yi - chun,SHEN De - zhen,ZHANG Ji - ying,FAN Xi - wu.Growth and characterization of MgxZn1- xO single- crystal thin films by plasma assisted molecular beam epitaxy[J].Journal of Functional Materials and Devices,2003,9(4):477-480. |
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| Authors: | WU Chun - xia LU You - ming LI Bing - hui ZHAO Dong - xu LIU Yi - chun SHEN De - zhen ZHANG Ji - ying FAN Xi - wu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Mg_xZn_(1-x)O P - MBE X-ray double crystal diffraction photoluminescence |
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