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| S枪磁控溅射淀积非晶硅光电导薄膜的制备... | |
| 引用本文： | 朱振才,顾培夫.S枪磁控溅射淀积非晶硅光电导薄膜的制备...[J].激光与红外,1992,22(5):53-58. |
| 作者姓名： | 朱振才 顾培夫 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 磁控溅射 光电导 薄膜 非晶硅 制备 |
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