| 国产扫描电镜上安装X线能谱仪 |
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| 引用本文： | 戴宏,陈尔纲,周庆. 国产扫描电镜上安装X线能谱仪[J]. 电子显微学报, 2000, 19(4): 629-630 |
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| 作者姓名： | 戴宏 陈尔纲 周庆 |
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| 作者单位： | 云南大学物理系,昆明,650091 |
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| 摘 要： | 扫描电子显微镜所成的像是由分解为近百万个的像元逐点依次记录而成的,因而使它在观察表面形貌的同时可进行成分和元素的分析。对于三透镜式扫描电子显微镜,还可以通过电子通道花样进行结晶学研究[1]。近几年,对一台八十年代初国产的BSM-25型扫描电子显微镜作了几方面的改进工作,其中包括高压纹波的减小、高亮度阴极的使用等措施[2,3],使原来15nm的极限分辨率提高到6nm左右;另外在自行研制的YWD-1A型扫描电镜上又进行了低真空条件下的高能电子反射衍射仪研究实验,成功地对一些材料的表面结构进行了分析确定[4]。近来,经过设计,在BSM-25…
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| 关 键 词： | 扫描电镜 X线能谱仪 安装 |
EDS mounted on a home-made SEM |
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| DAI Hong,CHEN Er-gang,ZHOU Qing. EDS mounted on a home-made SEM[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2000, 19(4): 629-630 |
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| Authors: | DAI Hong CHEN Er-gang ZHOU Qing |
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