|
|||||
|
|
| 位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响分析 | |
| 作者单位： | ;1.广东省现代几何与力学计量重点实验室;2.广东省计量科学研究院 |
| 摘 要： | 为确定基于静电力原理微小力装置位置误差对输出结果影响,采用有限元分析方法对一种新型叉指状微小力装置位置变化时输出微小力特性进行分析。通过比较装置极板位置在X、Y、Z方向6个自由度上发生独立运动及复合运动时装置输出微小力变化规律,探讨装置位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响;并确定各自由度上装置位置误差对输出微小力影响较小区间。结果表明不同自由度上叉指状装置位置误差对装置输出结果影响程度不同;位置误差控制在一定范围内,对装置输出微小力影响较小,可为简化电容式微小力源装置设计与制造提供理论依据。 |
| 关 键 词： | 位置误差 叉指电容 力学特性 微小力 数值模拟 |
Effects of position errors on mechanical characteristics of inter-digital micro force devices |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |