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| 叉指状微小力装置力学特性的数值模拟与分析 | |
| 作者单位： | ;1.广东省现代几何与力学计量重点实验室;2.广东省计量科学研究院 |
| 摘 要： | 针对电容式微小力装置极板间距测量误差对输出结果影响较大问题,采用理论分析与数值模拟相结合,分析一种能大幅减小极板间距测量不确定度对输出微小力影响的新型叉指状微小力装置。重点探讨不同叉指重叠长度、加载电压、间距和厚度等条件下,装置输出微小力特性。结果表明:叉指参数满足一定关系,叉指重叠长度变化对输出微小力几乎无影响;输出微小力与加载电压平方以及叉指厚度成正比;随着叉指间隙增大,输出微小力迅速减小。该装置对简化电容式微小力源装置极板间距测量与位置控制附加机构、微小力源装置设计均具有参考价值。 |
| 关 键 词： | 叉指电容 力学特性 数值模拟 微小力 |
Numerical simulation analysis on mechanical characteristics of finger structure micro-force devices |
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