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| 激光干涉二等量块自动测量装置 | |
| 作者单位： | ;1.广东省现代几何与力学计量技术重点实验室;2.广东省计量科学研究院;3.中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 该文利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统,该装置采用633 nm碘饱和吸收稳频He-Ne激光器作为标准。硬件方面设计、开发机械本体,搭建激光光路和信号处理模块,研发精密定位的柔性传感器,选配相关电机驱动和环境参数监控系统;软件方面研发数据采集和监控处理程序、测量结果判定及环境参数补偿软件。本装置测量范围上限达100 mm,测量量块的扩展不确定度为U=0.04~0.08μm(k=3),其复现量值指标达到JJG 146——2011《量块》的技术要求。 |
| 关 键 词： | 量块 激光干涉 柔性定位 不确定度 |
Automatic measurement device for order-2 gauge block based on laser interference principle |
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