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| CMT器件芯片同步辐射形貌相的计算机图象处理系统 | |
| 引用本文： | 姚英,梁宏林,蔡毅, 蔡毅.CMT器件芯片同步辐射形貌相的计算机图象处理系统[J].红外与激光工程,1995(3). |
| 作者姓名： | 姚英 梁宏林 蔡毅 蔡毅 |
| 作者单位： | 昆明物理研究所，中国科学院红外物理国家实验室 |
| 摘 要： | ＣＭＴ器件芯片同步辐射形貌相的计算机图象处理系统姚英，梁宏林，蔡毅（昆明物理研究所昆明６５０２２３）蔡毅（中国科学院红外物理国家实验室上海２０００８３）对器件尺寸的ＣＭＴ材料Ｘ射线形貌、ＨＡＬＬ参数和器件性能的研究表明，ＣＭＴ器件的性能和材料中的结构... |
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