| 微小差分电容检测技术的研究 |
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| 引用本文： | 朱武,张佳民,熊斌,车录锋,王跃林.微小差分电容检测技术的研究[J].测试技术学报,2004,18(3):203-207. |
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| 作者姓名： | 朱武 张佳民 熊斌 车录锋 王跃林 |
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| 作者单位： | 上海电力学院,信控系,上海,200090;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 摘 要： | 在MEMS电容式加速度传感器的测试中,由于受单放大器开环增益有限的影响,提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的.针对这种情况,本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理,实验结果表明,电路可检测的最小差分电容可达到5aF(5×10-18F).
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| 关 键 词： | 加速度计 微机械 组合放大器 |
| 文章编号： | 1671-7449(2004)03-0203-05 |
| 修稿时间： | 2004年2月19日 |
Research of Detecting Technique of Micro Differential Capacitance |
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| ZHU Wu,ZHANG Jia-min,XIONG Bin,CHE Lu-feng,WANG Yue-lin.Research of Detecting Technique of Micro Differential Capacitance[J].Journal of Test and Measurement Techol,2004,18(3):203-207. |
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| Authors: | ZHU Wu ZHANG Jia-min XIONG Bin CHE Lu-feng WANG Yue-lin |
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| Affiliation: | ZHU Wu~1,ZHANG Jia-min~1,XIONG Bin~2,CHE Lu-feng~2,WANG Yue-lin~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitive accelerometer micromachining composite amplifiers |
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