TC4表面渗Nb、C、N复合涂层的制备及其摩擦磨损性能研究

采用双阴极等离子溅射技术在TC4合金表面制备了铌碳氮复合涂层,利用XRD和维氏显微硬度计观察其物相和表面微观形貌,并对其摩擦磨损性能进行研究。结果表明:复合涂层由Nb2C,Nb2CN两种物相组成,厚度约10um。涂层摩擦系数低于0.35,且比磨损率较TC4合金降低了两个数量级,对载荷几乎不具敏感性。