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分类号
杂志ISSN号
提高红外显微镜稳定性的方法
作者姓名:
Г.МОвчаренко
王健良
摘 要:
在文献[1]中介绍了一种供检查微型线路的红外扫描显微镜。该仪器技术性能较好而且记录方法简便。但同时又存在一个很严重的缺陷——其读数既随时间变化又不稳定。为了说明不稳定的主要原因,请参看图1.α.。图上简略地示出显微镜光学系统的红
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