| 二维解耦微位移工作台的设计与有限元分析 |
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| 引用本文： | 吴从焰,潘效龙,张晓峰,刘传桂.二维解耦微位移工作台的设计与有限元分析[J].机械设计与制造,2014(10). |
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| 作者姓名： | 吴从焰 潘效龙 张晓峰 刘传桂 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学 机械与汽车工程学院,安徽合肥,230009 |
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| 基金项目： | 合肥工业大学2012年国家级大学生创新创业(训练、实践)计划项目 |
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| 摘 要： | 微位移工作台在微机电系统、超精密加工和生物医学工程等领域有广泛的应用。设计了一种驱动器浮动的二维解耦微位移工作台。工作台采用双层柔性铰链杆对称一体化结构,消除了X、Y方向的耦合运动。推导了微位移工作台的理论刚度。为了验证此微位移工作台能够满足设计要求,采用有限元方法进行分析计算,有限元计算得到的微位移工作台刚度与微位移工作台的理论刚度吻合较好,并且通过有限元计算的结果验证了工作台在X、Y方向的运动无耦合。
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| 关 键 词： | 微位移工作台 驱动器浮动 柔性铰链 |
Design and Finite Element Analysis of Two-Dimension Decoupling Micro-Displacement Worktable |
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| WU Cong-yan,PAN Xiao-long,ZHANG Xiao-feng,LIU Chuan-gui.Design and Finite Element Analysis of Two-Dimension Decoupling Micro-Displacement Worktable[J].Machinery Design & Manufacture,2014(10). |
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| Authors: | WU Cong-yan PAN Xiao-long ZHANG Xiao-feng LIU Chuan-gui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-Displacement Worktable Floating Actuator Flexible Hinge |
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