薄层电阻标样及Mapping在IC制造中的应用研究

提出对集成电路在线监控中使用相关薄层电阻标样的必要性和重要性。着重介绍了薄层电阻标样和Ｍａｐｐｉｎｇ技术在验证仪器各档测量薄层电阻误差，对外延生长工艺验控，判断离子注入退火后薄层电阻均匀性差的原因，监视扩散炉内部温度与气流对扩散影响和监控溅吕层厚度质量等应用。