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Fe/Cu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响
引用本文:艾利娟,祝江平,吴晓玲,郑瑞廷,程国安. Fe/Cu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响[J]. Canadian Metallurgical Quarterly, 2011, 47(2)
作者姓名:艾利娟  祝江平  吴晓玲  郑瑞廷  程国安
作者单位:北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京师范大学核科学与技术学院,100875,北京
基金项目:国家973计划课题资助项目,教育部重点科技资助项目
摘    要:利用直流磁控溅射方法制备了Fe/Cu纳米多层膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、薄膜应力分布测试仪和纳米压痕技术研究了不同周期结构Fe/Cu纳米多层薄膜的内应力及其纳米力学性能.在Fe/Cu纳米多层薄膜中,由于铁和铜的结构和本征性能的差异,形成多层膜结构后存在张应力,其张应力在周期T=10时达到910.08 MPa,对应的纳米硬度为12.3 GPa.随着多层薄膜调制周期数T的增加而内应力逐渐降低,纳米硬度和弹性模量随着张应力缓释也出现下降.根据纳米薄膜内应力对其力学性能的影响,探讨了内应力与薄膜纳米力学性能的相关性.

关 键 词:Fe/Cu纳米多层薄膜  内应力  纳米硬度  弹性模量

INFLUENCE OF INTERNAL STRESS ON MECHANICAL PROPERTIES OF Fe/Cu NANO-MULTILAYER
AI Lijuan,ZHU Jiangping,WU Xiaoling,Zheng Ruiting,CHENG Guoan. INFLUENCE OF INTERNAL STRESS ON MECHANICAL PROPERTIES OF Fe/Cu NANO-MULTILAYER[J]. Canadian Metallurgical Quarterly, 2011, 47(2)
Authors:AI Lijuan  ZHU Jiangping  WU Xiaoling  Zheng Ruiting  CHENG Guoan
Abstract:
Keywords:
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