| 用磁控溅射法制备的Ag-MgF2的复合薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 赵亚丽,许小亮,明海.用磁控溅射法制备的Ag-MgF2的复合薄膜的研究[J].功能材料,2007,38(3):386-388,392. |
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| 作者姓名： | 赵亚丽 许小亮 明海 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用RF磁控溅射方法制备了Ag-MgF2复合薄膜.通过XRD测量,发现当退火温度在300～500℃时,Ag以晶态形式镶嵌在非晶态介质中;当退火温度低于300℃时候,Ag以非晶态形式存在.在分层镀Ag和MgF2薄膜后,经过热处理使Ag颗粒扩散在MgF2介质中,通过AFM观察,对复合薄膜形貌进行了分析:如果先镀MgF2薄膜,再镀Ag薄膜,发现Ag颗粒主要分布在薄膜的表面,并且富集形成较大的颗粒,表现出块体Ag的吸收特性.而先镀Ag薄膜,然后再镀MgF2薄膜,经过热处理,可以形成Ag颗粒均匀镶嵌在介质中形成的复合薄膜.同时对样品的吸收特性也进行了研究.
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| 关 键 词： | Ag-MgF2复合薄膜 磁控溅射 吸收谱 纳米颗粒 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）03-0386-03 |
| 修稿时间： | 2006-08-302006-11-07 |
Ag-MgF2 composite films deposited by RF magnetron sputtring |
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| ZHAO Ya-li,XU Xiao-liang,MING Hai.Ag-MgF2 composite films deposited by RF magnetron sputtring[J].Journal of Functional Materials,2007,38(3):386-388,392. |
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| Authors: | ZHAO Ya-li XU Xiao-liang MING Hai |
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| Affiliation: | Department Physics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026 ,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ag-MgF2 composite films magnetron sputter absorption mierostrueture nanoparticles |
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