| 多级罗茨干泵泵内传热与变形的计算和实验研究 |
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| 引用本文： | 刘坤,巴德纯,王光玉,张振厚,杨乃恒.多级罗茨干泵泵内传热与变形的计算和实验研究[J].真空科学与技术学报,2011,31(1):100-104. |
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| 作者姓名： | 刘坤 巴德纯 王光玉 张振厚 杨乃恒 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学机械工程与自动化学院,沈阳,110819
2. 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司,沈阳,110168 |
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| 基金项目： | "十一五"国家科技重大专题项目，国家自然科学基金，教育部博士点基金课题，中央高校基本科研业务专项资金 |
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| 摘 要： | 间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一。在多级罗茨干泵运转时,间隙受转子和泵腔热变形的影响较大。本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程,建立了工作过程的传热模型。通过接触式和非接触式测温方法,对多点温度进行了测量,获得了热载荷的边界条件。基于ANSYS软件,对泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析,并采用热-结构耦合分析对其热变形进行了计算,得到转子轴和泵腔的热变形量,并绘制了变形云图和曲线。通过上述方法得到的热变形数据,为确定间隙提供了参考,并为进一步计算干泵在运行时的间隙泄漏量提供了计算依据。
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| 关 键 词： | 多级罗茨干泵 热变形 热-结构耦合 间隙 温度测量 |
Calculation and Measurement of Internal Heat Transfer and Deformation of Multi-Stage Roots Dry Vacuum Pump |
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| Liu Kun,Ba Dechun,Wang Guangyu,Zhang Zhenhou,Yang Naiheng.Calculation and Measurement of Internal Heat Transfer and Deformation of Multi-Stage Roots Dry Vacuum Pump[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2011,31(1):100-104. |
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| Authors: | Liu Kun Ba Dechun Wang Guangyu Zhang Zhenhou Yang Naiheng |
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| Affiliation: | 1(1.Northeastern University,Shenyang 110819,China;2.SKY Technology Development of Chinese Academy of Sciences,Shenyang 110168,China) |
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