用还原氮化法制备氮化铝粉末 |
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引用本文: | 翁履谦,黄栋生.用还原氮化法制备氮化铝粉末[J].电子元件与材料,1991,10(3):16-19. |
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作者姓名: | 翁履谦 黄栋生 |
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作者单位: | 中南工业大学粉末冶金研究所
(翁履谦),中南工业大学粉末冶金研究所(黄栋生) |
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摘 要: | 研究了用还原氮化法制备氮化铝(AlN)粉末的过程。用XRD、DTA等手段确定了氮化反应的开始温度,并从热力学角度进行了讨论。通过实验研究了氮化速率。对制备出的AlN粉末性质进行了观察和检测,其结果表明所获AlN粉烧结性能良好、纯度高、颗粒微细。
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关 键 词: | 反应温度 氮化速率 还原氮化法 氮化铝 |
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