| 微声薄膜耦合谐振滤波器有限元建模与仿真 |
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| 引用本文： | 杜波,马晋毅,江洪敏,杨靖,徐阳. 微声薄膜耦合谐振滤波器有限元建模与仿真[J]. 压电与声光, 2012, 34(5): 672-675 |
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| 作者姓名： | 杜波 马晋毅 江洪敏 杨靖 徐阳 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第26研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 针对一维等效电路仿真模型不能对滤波器振动模式进行仿真的局限性,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器二维和三维的有限元模型,仿真分析了滤波器在对称谐振频率和反对称谐振频率下的振动模式,并通过频率响应分析得到了滤波器的S参数.仿真结果表明,采用有限元分析法可实现微声薄膜耦合谐振滤波器几何参数以及电极结构的优化设计.
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| 关 键 词： | 微声薄膜 耦合谐振滤波器 有限元 |
Finite Element Modeling and Simulations of Film Bulk Acoustic Wave Coupling Resonator Filters |
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| DU Bo,MA Jinyi,JIANG Hongming,YANG jing and XU Yang. Finite Element Modeling and Simulations of Film Bulk Acoustic Wave Coupling Resonator Filters[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2012, 34(5): 672-675 |
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| Authors: | DU Bo MA Jinyi JIANG Hongming YANG jing XU Yang |
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| Affiliation: | (26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | film bulk acoustic wave coupling resonator filter finite element method |
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