超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构 |
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引用本文: | 陈明君,张龙江,董申.超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构[J].制造技术与机床,2000(9):12-13. |
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作者姓名: | 陈明君 张龙江 董申 |
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作者单位: | 哈尔滨工业大学 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目!(598351 80 ) |
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摘 要: | 文章从理论上分析了中心高微调机构对光学零件加工精度的影响。设计研制了高精度的中心高微调机构,并进行了系统标定,在2mm的调整范围内能实现0.1μm的精确微调。该微调机构用于超精密磨削光学非球面的中心高微调。磨削结果表明,其磨削加工的零件轮廓精度为0.2μm,表面粗糙度为Ra0.01μm。
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关 键 词: | 超精密磨削 光学非球曲面 微调机构 |
Center-Height
Micro-adjusting Device for Ultra-precision Grinding of Optical Aspherical Surface |
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Abstract: | |
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