| 用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜 |
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| 引用本文： | 张冬仙,黄峰.用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜[J].光学仪器,2000,22(5):31-34. |
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| 作者姓名： | 张冬仙 黄峰 |
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| 作者单位： | 浙江电影学校!杭州310012(张冬仙)，浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027(黄峰) |
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| 摘 要： | 研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜 ,介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统 ,利用该系统对原子晶格图象进行扫描 ,验证了纳米计量的可行性 ,给出了部分被测样品的纳米计量结果
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| 关 键 词： | 双隧道单元 扫描隧道显微镜 原子尺 纳米计量 |
Dual tunneling unit scanning tunneling microscope for nano-metrology |
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| ZHANG Dongxian.Dual tunneling unit scanning tunneling microscope for nano-metrology[J].Optical Instruments,2000,22(5):31-34. |
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| Authors: | ZHANG Dongxian |
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| Abstract: | A dual tunneling unit scanning tunneling microscopc(DTU-STM) is developed for nano-metrology.This article describes the measurement concept and the instrument of the DTU-STM.The crystalline lattice images were scanned by the DTU-STM to check the feasibility of nano-metrology.One metrological result of test sample image was provided. |
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| Keywords: | dual tunneling unit STM atomic reference scale nano-metrology |
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