用于ECL超高速电路的高阻多晶硅隔离工艺期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

用于ECL超高速电路的高阻多晶硅隔离工艺

作者姓名：	张承基

摘要：	分析了高阻多晶硅隔离的电学和工艺可能性,介绍了用高阻多晶硅隔离制造ECL超高速电路的主要工艺技术和结果,分析了这种隔离结构的某些特点和优越性。
本文献已被 CNKI 等数据库收录！