| 射频微机械移相器 |
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| 引用本文： | 娄建忠,赵正平,杨瑞霞,吕苗,胡小东. 射频微机械移相器[J]. 半导体技术, 2004, 29(10): 31-34 |
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| 作者姓名： | 娄建忠 赵正平 杨瑞霞 吕苗 胡小东 |
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| 作者单位： | 河北工业大学信息学院,天津,300130;河北大学电子信息工程学院,河北,保定,071002;中国电子科技集团公司第13研究所,石家庄,050051;河北工业大学信息学院,天津,300130 |
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| 摘 要： | MEMS技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力.利用RF MEMS开关制造的RF MEMS移相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点,因此成为研究的热点.本文对国际上RF MEMS的研究和发展进行了比较全面的综述,并介绍了DMTL移相器,该移相器在DC～30GHz范围内具有较好的线性度,在20GHz时相移为0°/11.6°/32.6°/48.5°,反射损失好于-11dB,插损小于-1.8dB.最后分析了各种移相器的特点和设计、制造的难点,对MEMS移相器的发展进行了展望.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 移相器 分布式微机械传输线 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)10-0031-04 |
| 修稿时间： | 2004-02-10 |
Development of RF MEMS Phase Shifter |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS phase shifter distributed MEMS transmission line(DMTL) |
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