精密光学扭簧测微仪的研制概况

分度值为0.1、0.2微米的精密光学扭簧测微仪是机械扭簧比较仪的进一步发展,它是以指示光带代替了精密指针,从而提高了仪器的放大比,其特点是测量范围大、示值稳定、精度高,同时仪器结构简单,成本低廉、易于制造。 文中简述了:①仪器的工作原理和结构;②仪器的主要优点及试制中的技术关键,试制中的关键是扭簧丝的选择、绕制和热处理,指示光带的制造,其他零件与一般仪器相似,易于制造;③主要技术指标及生 产中的使用情况。文中附图4幅,表2个。