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| SF-3型石英微量天平在膜厚监测中可靠性实验证 | |
| 作者姓名： | 杜鸿善 梁东麒 王豫生 孙汉城 |
| 作者单位： | 中国原子能科学研究院(杜鸿善，梁东麒，王豫生)，中国原子能科学研究院(孙汉城) |
| 摘 要： | 对SF-8型石英微量天平监测过的超薄源和沉积膜,分别采用称重法、电子谱线分析法和背散射法对其厚度进行了比对测量。测量结果一致性较好,并与SF-8型石英微量天平给出的值相符,从而在实验上证明了SF-3型石英微量天平在真空蒸发制备超薄源和沉积膜工作中是厚度监测的可靠工具。 |
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