| 激光用高质量减反射膜的制备 |
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| 引用本文： | 徐颖,高劲松,王笑夷,陈红,冯君刚.激光用高质量减反射膜的制备[J].哈尔滨工业大学学报,2005,37(6):804-805,809,850. |
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| 作者姓名： | 徐颖 高劲松 王笑夷 陈红 冯君刚 |
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| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国防科工委资助项目(MKPT-01-111(ZD)). |
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| 摘 要： | 激光用减反射膜要求镀膜后的基片可以在激光的输出波长处剩余反射率低于0．1％，从这一要求出发，优化设计了两种不同的膜系，并根据膜系的需求采用了两种不同的监控方法，结果发现，使用光学膜厚控制膜层厚度的精度高，误差小，可以在一定程度上提高成品率．使用光学膜厚控制手段成功地制备出用于激光系统的单点632．8nm处剩余反射率低于0.05％，表面形貌均匀且无较大起伏的优质减反射膜．
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| 关 键 词： | 光学薄膜 减反射膜 剩余反射率 石英晶体膜厚监控 光学膜厚监控 |
| 文章编号： | 0367-6234(2005)06-0804-02 |
| 修稿时间： | 2003年6月17日 |
Super antireflection coating used in laser system |
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| XU Ying,GAO Jin-song,WANG Xiao-yi,CHEN Hong,FENG Jun-gang.Super antireflection coating used in laser system[J].Journal of Harbin Institute of Technology,2005,37(6):804-805,809,850. |
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| Authors: | XU Ying GAO Jin-song WANG Xiao-yi CHEN Hong FENG Jun-gang |
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| Abstract: | It is necessary to design and deposit a super AR coating with the reflectance less than 0.1% at the laser wavelength in laser system. To meet this demand, two AR coating was designed and selected two monitoring methods according to the design. From the results, it could be find that the thickness of the film was made with high precision and little error by the optical monitoring technology. AR coatings with the reflectance less than 0.05% at 632.8 nm had been successfully made under several experiments using optical monitoring technology, which had an even surface without obvious wave. |
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| Keywords: | optical coating antireflection coating residual reflectance quartz crystal monitoring optical monitoring |
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