| 氟化类金刚石薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 张茹芝,刘贵昌,邓新绿.氟化类金刚石薄膜的研究进展[J].真空科学与技术学报,2004,24(4):271-275. |
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| 作者姓名： | 张茹芝 刘贵昌 邓新绿 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学化工学院
2. 大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室,大连,116012 |
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| 摘 要： | 氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响.
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| 关 键 词： | 氟化类金刚石(FDLC) 类金刚石(DLC) 进展 沉积 性能 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)04-0271-05 |
| 修稿时间： | 2003年9月18日 |
Development of Fluorinated Diamond-like Carbon Film |
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| Abstract: | The newly developed fluorinated diamond-like carbon (FDLC) films is playing an increasingly important role in surface modification.The latest progress of the new surface modification material was reviewed with discussion focusing on its structure,its properties and its growth techniques.Influence of different gaseous sources and annealing temperatures on FDLC film growth was discussed also. |
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| Keywords: | FDLC DLC Development Deposition Property |
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