| 热处理气氛对溶胶凝胶法制备CuAlO2薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 任洋,赵高扬,李颖,章晨曦,高贇,刘灵军.热处理气氛对溶胶凝胶法制备CuAlO2薄膜的影响[J].材料热处理学报,2013,34(8). |
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| 作者姓名： | 任洋 赵高扬 李颖 章晨曦 高贇 刘灵军 |
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| 作者单位： | 西安理工大学材料科学与工程学院,陕西西安,710048 |
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| 摘 要： | 采用溶胶凝胶法,通过控制热处理气氛在石英玻璃基片上制备了光电性能优良的CuAlO2薄膜,研究了氧气和氮气对CuAlO2薄膜制备的影响.结果表明,CuAlO2薄膜的制备先后经历了凝胶膜的热分解、无定形薄膜、固相反应、CuAlO2形核与长大4个过程.固相反应阶段前通氧气,能够促进中间产物CuO的生成,之后通氮气可以使中间产物CuO与CuAl2O4发生固相反应生成CuAlO2,最终制备的CuAlO2薄膜结晶状况良好、晶粒较大,表面均匀致密,没有孔洞,电阻率为250 Ω·cm,薄膜在700 nm处的透过率为75.5％.
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| 关 键 词： | CuAlO2 薄膜 热处理 气氛 溶胶凝胶 |
Effect of annealing atmosphere on preparation of CuAlO2 films by sol-gel method |
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| Keywords: | CuAlO2 film heat treatment atmosphere sol-gel |
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