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| 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性 | |
| 引用本文： | 岳东旭,于虹,袁为民.静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性[J].光学精密工程,2011(3):689. |
| 作者姓名： | 岳东旭 于虹 袁为民 |
| 作者单位： | 东南大学电子科学与工程学院MEMS教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 当微谐振器的尺寸缩小到nm量级时其工作频率已达到MHz、GHz甚至更高,研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文详细分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模 |
| 关 键 词： | 谐振器 悬臂梁结构 非线性行为 工作频率 微米尺寸 非线性理论 静电驱动 非线性特性 亚微米 非线性力学 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |