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杂志ISSN号
静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性
作者姓名:
岳东旭
于虹
袁为民
作者单位:
东南大学电子科学与工程学院MEMS教育部重点实验室
摘 要:
当微谐振器的尺寸缩小到nm量级时其工作频率已达到MHz、GHz甚至更高,研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文详细分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模
关 键 词:
谐振器
悬臂梁结构
非线性行为
工作频率
微米尺寸
非线性理论
静电驱动
非线性特性
亚微米
非线性力学
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