光学在精密测量中的应用

在现代工业测量中,传统测量方法已经不能满足需要,因此利用光学原理的非接触式测量开始被广泛应用。本文论述了干涉仪、定量相位成像显微镜、激光三角法以及光谱共焦四种光学精密测量仪器的原理,并进行了对比,提出了改进意见。