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用于半导体加工的激光技术
引用本文:
蒋涛.用于半导体加工的激光技术[J].激光与光电子学进展,1985,22(3):17.
作者姓名:
蒋涛
作者单位:
蒋涛
:
摘 要:
从激光与电光会议程序表可明显看到,用激光技术解决半导体加工问题的兴趣日益增长。会议报告包括:怎样用短波长激光器在半导体上制作精细结构——包括分布反馈(DFB)激光二极管所需的精密间距光栅;淀积精细金属线路的激光技术和在整块晶片上制作集成电路等。
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