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| 在干涉显微镜上测量几何尺寸 | |
| 作者姓名： | 曲凤明 |
| 作者单位： | 常州兰翔飞机发动机总厂质量部 |
| 摘 要： | 干涉显微镜是利用光波干涉原理,检测工件表面的微观几何形状的,我们在工作实践中摸索出一种使用方法,可以在干涉显微镜上测量几何尺寸。 这种方法不需要任何改造,也不需要外加任何专用工具,只要把干涉显微镜的可变光栏调整至趋近于零(适当大小),控光狭缝调整至极小(适当 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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