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信息功能薄膜器件
引用本文:张之圣,李晓云,陈金亭.信息功能薄膜器件[J].仪器仪表学报,2001,22(Z1):436-437.
作者姓名:张之圣  李晓云  陈金亭
作者单位:天津大学电子信息工程学院
摘    要:本文介绍了铁电存储器的特性,提出了信息功能薄膜的几种主要的制备方法,指出了它的应用领域。

关 键 词:信息功能薄膜  铁电存储器  制备方法

Information Function Thin-film Element
Abstract:
Keywords:
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