| 基体材料表面粗糙度对Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜性能的影响（英文） |
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| 引用本文： | 林松盛,周克崧,代明江,胡芳,石倩,侯惠君,韦春贝,李福球,佟鑫.基体材料表面粗糙度对Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜性能的影响（英文）[J].中国有色金属学会会刊,2015(2):451-456. |
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| 作者姓名： | 林松盛 周克崧 代明江 胡芳 石倩 侯惠君 韦春贝 李福球 佟鑫 |
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| 作者单位： | 华南理工大学材料科学与工程学院;广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所 |
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| 基金项目： | Project(2011B050400007)supported by the International Cooperation Program of Guangdong Province,China |
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| 摘 要： | 采用真空阴极电弧沉积技术,在4组表面粗糙度不同的Cr17Ni2钢基体上制备Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜。采用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、砂粒冲刷试验仪和盐雾试验机分析测试多层膜的截面形貌、膜层厚度、相组成、硬度、膜/基结合力、抗砂粒冲刷性能和耐腐蚀性能等。结果表明:所制备的多层膜厚度为11.37μm,维氏硬度为29.36 GPa;多层膜能显著地提高Cr17Ni2钢基体的抗砂粒冲刷和耐盐雾腐蚀能力;基体材料表面粗糙度对膜层性能的影响很大,基体表面粗糙度越小,其膜/基结合力、抗砂粒冲刷性能和耐盐雾腐蚀性能越佳;为了获得具有良好综合性能的膜层,待表面处理的基体表面粗糙度必须控制在Ra0.40μm。
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| 关 键 词： | Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜 表面粗糙度 抗砂粒冲刷性能 耐腐蚀性能 真空阴极电弧沉积 TiN ZrN |
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