| 半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨 |
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| 引用本文： | 胡仕新. 半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨[J]. 洁净与空调技术, 2002, 0(4): 36-42 |
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| 作者姓名： | 胡仕新 |
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| 作者单位： | 宝维士联盛工程咨询上海有限公司 |
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| 摘 要： | 本文除概略介绍气体检测器的种类处，主要对气体检测器的原理和在实际使用中的局限性作一基本归纳叙述。限于篇幅，本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上，提出个人的一点心得与看法，以作为未来设置气体检测器系统时之参考。
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| 关 键 词： | 半导体 芯片厂 气体检测器 可燃性气体 毒性气体 |
Experiences in hazard gas detector application in smiconductor IC factory |
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| Hu shixin. Experiences in hazard gas detector application in smiconductor IC factory[J]. Contamination Control & Air-Conditioning Technology, 2002, 0(4): 36-42 |
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| Authors: | Hu shixin |
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| Abstract: | The operation principle and limit as well as types of gas detector are summarized. The main discussion is concentrated on selection and configuration plan of gas detectors as reference for gas detector -layout. |
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| Keywords: | Gas detector Flammable gas Hazardous gas Detector selection Detector evalua-tion Layout planning |
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