| 取向碳纳米管阵列的等离子体复合化学气相沉积法制备 |
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| 引用本文： | 陈易明,张海燕,朱清锋,陈雨婷,陈列春,杨大勇. 取向碳纳米管阵列的等离子体复合化学气相沉积法制备[J]. 红外与毫米波学报, 2008, 27(6) |
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| 作者姓名： | 陈易明 张海燕 朱清锋 陈雨婷 陈列春 杨大勇 |
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| 作者单位： | 广东工业大学,材料与能源学院,广东,广州,510006;广东工业大学,材料与能源学院,广东,广州,510006;广东工业大学,材料与能源学院,广东,广州,510006;广东工业大学,材料与能源学院,广东,广州,510006;广东工业大学,材料与能源学院,广东,广州,510006;广东工业大学,材料与能源学院,广东,广州,510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ， 国家自然科学基金对外交流与合作项目 ， 高等学校博士学科点专项科研基金 ， 广东省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积技术,用旋涂法制备负载催化剂的硅片衬底,以CH4为碳源制备出取向碳纳米管阵列薄膜.利用扫描电子显微镜对不同还原时间和不同N i(NO3)2浓度下制备的催化剂基片和取向碳纳米管阵列薄膜进行形貌分析,用透射电子显微镜和拉曼光谱对碳纳米管进行表征.结果表明,在H2-N2气氛中热还原后硅片上的催化剂粒径均匀,排列致密,利用该法制备的碳纳米管为竹节型多壁碳纳米管,管径分布均匀,管长约5μm.碳纳米管阵列薄膜垂直于硅片衬底生长,生长排列均匀致密,具有良好的取向性.
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| 关 键 词： | 取向碳纳米管阵列 热丝射频等离子体复合化学气相沉积 旋涂法 |
SYNTHESIS OF ALIGNED CARBON NANOTUBES ARRAY BY RADIO FREQUENCY PLASMA-ENHANCED HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
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| CHEN Yi-Ming,ZHANG Hai-Yan,ZHU Qing-Feng,CHEN Yu-Ting,CHEN Lie-Chun,YANG Da-Yong. SYNTHESIS OF ALIGNED CARBON NANOTUBES ARRAY BY RADIO FREQUENCY PLASMA-ENHANCED HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2008, 27(6) |
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| Authors: | CHEN Yi-Ming ZHANG Hai-Yan ZHU Qing-Feng CHEN Yu-Ting CHEN Lie-Chun YANG Da-Yong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aligned carbon nanotubes array radio frequency plasma enhanced hot filament chemical vapor depositon spin coating |
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