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大口径光学薄膜透反射率测量方法的研究
引用本文:谢云,刘骏,李海峰,刘旭,顾培夫. 大口径光学薄膜透反射率测量方法的研究[J]. 光学仪器, 2004, 26(2): 164-167
作者姓名:谢云  刘骏  李海峰  刘旭  顾培夫
作者单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
摘    要:设计了大口径光学薄膜透、反射率自动测量系统,该系统能在宽波段、大角度范围内进行自动测量;重点论述了大角度测量厚度较大的样品时机械结构的实现;介绍了系统光路的设计和数据采集部分的实现;分析了测量误差的主要来源,并提出相应的解决办法。

关 键 词:大口径  大角度  透射率  反射率  自动测量
文章编号:1005-5630(2004)02-0164-04
修稿时间:2003-11-30

Measuring spectral reflectance and transmittance of heavy caliber optical thin-film
XIE Yun,LIU Jun,LI Hai-feng,LIU Xu,GU Pei-fu g University,Hangzhou,China. Measuring spectral reflectance and transmittance of heavy caliber optical thin-film[J]. Optical Instruments, 2004, 26(2): 164-167
Authors:XIE Yun  LIU Jun  LI Hai-feng  LIU Xu  GU Pei-fu g University  Hangzhou  China
Affiliation:XIE Yun,LIU Jun,LI Hai-feng,LIU Xu,GU Pei-fu g University,Hangzhou 310027,China)
Abstract:The automatic measuring system has been designed, which can measure the transmissivity and reflectivity of heavy caliber optical thin-film in wide spectral band and wide angular range. The implementation of the machine structure for measuring thick samples at large angle was discussed emphatically. We also introduced the optical system and the data acquisition module as well. At last, the paper analyzes various measurement errors and gives corresponding solutions.
Keywords:heavy caliber  large angle  transmissivity  reflectivity  automatic measurement  
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