| 大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验 |
| |
| 引用本文： | 薛栋林,张忠玉,郑立功,张学军.大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验[J].光学精密工程,2008,16(12). |
| |
| 作者姓名： | 薛栋林 张忠玉 郑立功 张学军 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林,长春,130033 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金
|
| |
| 摘 要： | 为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案.经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.008 2λ,RMS:0.002 9λ(λ=632.8nm).采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS).所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计.采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础.
|
| 关 键 词： | 凸非球面镜 碳化硅反射镜 零位检验 补偿器设计 |
Testing methods for large aperture convex SiC asphere mirror |
| |
| XUE Dong-lin,ZHANG Zhong-yu,ZHENG Li-gong,ZHANG Xue-jan.Testing methods for large aperture convex SiC asphere mirror[J].Optics and Precision Engineering,2008,16(12). |
| |
| Authors: | XUE Dong-lin ZHANG Zhong-yu ZHENG Li-gong ZHANG Xue-jan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
