| 离子注入对金属纳米薄膜微观结构的影响 |
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| 引用本文： | 徐洮,杨生荣,陈淼,薛群基. 离子注入对金属纳米薄膜微观结构的影响[J]. 电子显微学报, 2002, 21(5): 649-650 |
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| 作者姓名： | 徐洮 杨生荣 陈淼 薛群基 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中科院百人计划资助项目 |
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| 摘 要： | 由于软的金属 ,如 :Ｐｂ、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ａｕ等具有低的剪切强度 ,被广泛用于减摩涂层材料[1] 。大量的研究表明 ,要获得好的摩擦学性质的涂层 ,仅考虑金属材料的剪切强度是不够的 ,涂层与底材的粘着强度、涂层的厚度、涂层表面的粗糙度以及实验条件对涂层摩擦学性能都有很大的影响[2 ] 。离子注入技术可在低温下通过非平衡态键合作用实现薄膜与基底界面间的原子级混合 ,甚至可在无相互反应和互不相溶的物质之间也能完成这种过程 ,因此通过离子注入技术改善金属纳米薄膜的机械性能的研究受到人们的重视[3 ,4] 。本文报道了用原子…
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| 关 键 词： | 离子注入 金属纳米薄膜 微观结构 原子力显微镜 减摩涂层材料 |
The influence of ion implantation on micro-structure of nano-metal films |
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