高真空电弧放电型离子镀的现状与未来

高真空电弧放电型离子镀是以ＴｉＮ、ＴｉＣ为主体发展起来的。它获得的金属、氧化物膜具有溅射镀或蒸镀法所得不到的特性。电弧镀膜法除适用于切削工具、金属模具、装饰品的镀膜外，还将用于电子学方面。