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交叉滚柱导轨运动台模态研究
作者姓名:张永凯  田伟  王汝冬  方斌
作者单位:(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033)
摘    要:利用三维建模软件UG建立了50 mm交叉滚柱导轨运动台三维模型,利用有限元分析软件ANASY Workbench14对交叉滚柱导轨运动台进行模态频率和振型分析,详细研究了模态分析过程中接触单元设置、导轨初始预压对模态分析的影响。设计了200 mm交叉滚柱导轨运动台,进行了模态分析及测试,验证了仿真分析方法的有效性,为交叉滚柱导轨运动台的设计提供重要依据。

关 键 词:交叉滚柱导轨  运动台  模态分析  实验验证
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